І кераміка з аксіду алюмінію, і кераміка з карбіду крэмнію валодаюць такімі фізічнымі ўласцівасцямі, як кампактнасць, высокая цвёрдасць і высокая зносаўстойлівасць, а таксама добрая цеплаўстойлівасць, выдатная механічная трываласць, добрая ізаляцыя і добрая ўстойлівасць да карозіі пры высокіх тэмпературах і г. д. Фізічныя ўласцівасці, гэта з'яўляецца выдатным матэрыялам для вырабу робатаў паўправадніковага абсталявання.З пункту гледжання ўласцівасцей матэрыялу кераміка з карбіду крэмнію больш падыходзіць для вырабу керамічных маніпулятараў, але з пункту гледжання эканамічных аспектаў, такіх як кошт матэрыялу і складанасць апрацоўкі, керамічныя маніпулятары з аксіду алюмінію з'яўляюцца больш эканамічна эфектыўнымі.
Час публікацыі: 13 лютага 2024 г